注：可使用BSN-C1285检测靶材，较大尺寸靶材需要订制
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| 靶材C扫描检测的意义 |
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靶材由溅射材料和靶托通过钎焊层连接。钎焊质量影响靶材界面层导热性能, 甚至导致脱焊或融化。靶材的突然脱落会造成设备的严重损坏, 导致重大经济损失。因此, 靶材钎焊层必须具备良好的导电性和导热性, 同时还必须具备足够的强度。
硕德检测提供的靶材专用检测设备，适用于靶材粘接检测和内部缺陷检测，可用于金属靶和陶瓷靶、平靶和管状靶。超声探伤原理是利用超声波经水耦合进入靶材板后，入射传播，当板中有缺陷会引起超声反射，若无缺陷，超声波到达靶材下表面后由于与粘接材料（或空气夹层）的声阻抗不匹配而导致回波幅度不同，超声仪器将超声反射信号经放大信号处理后实时报警，实现粘接和缺陷的自动检测。
考虑到靶材粘接检测的特殊性以及靶材材料本身的声特性，系统采用聚焦超声纵波脉冲反射液浸法C扫描技术进行检测，实现对粘接率的计算和内部缺陷的探伤。对于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷可进行有效的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
适用靶材的种类
1. 金属靶材 镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶等。
2. 陶瓷靶材 ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶，、二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶五氧化二钽，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。
3.合金靶材 铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、 钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等…… |
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| 靶材C扫描检测设备概述 |
| 靶材超声C扫描成像设备用于检测靶材内部缺陷，靶材超声C扫描成像设备是有北京北极星辰科技有限公司研发，已经广泛应用于航天、军工、高铁等诸多行业。靶材超声C扫描成像设备是北极星辰公司的重要产品之一，北极星辰已经成功研发了几十种超声c扫描设备。 |
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| 靶材C扫描的应用 |
①有色金属靶材、靶材与背板绑定（Bonding）质量检测
②各种形状的板、盘、锥、棒与管的超声C 扫描检测
③钛合金、复合材料、钢、有色金属、粉末冶金等各种材料内部缺陷的无损检测
④航空航天复合材料与零部件的质量检测
⑤粘接质量、钎焊质量、热熔接质量的检测
⑥用于各种行业机械零部件超声波探伤 |
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| 靶材C扫描成像设备的性能特点 |
本C扫描系统的具有质量稳定性、便携性、耐用性和可靠性。
高分辨率彩色液晶显示器配有快速模拟实时测量系统提供波形的详细信息，高速屏幕刷新频率（高于70Hz）使缺陷回波实时展现，无遗漏。快捷的键盘，简单明了的菜单结构使人机交互更友好，仪器操作十分方便。各种输出接口使得应用范围更广，使用更灵活。
计算机高速处理处理让检测效率加倍提升。 |
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| 靶材C扫描的技术指标 |
1) 系统自由度：3轴
2) 系统的有效扫描范围：300mm×400mm×90mm
3) 系统耦合方式：水浸耦合
4) 检测通道：单通道
5) 系统C扫描信号采集和运动自动控制：
6) 超声C扫描数据处理与存储采用PC机（台式机或者笔记本），使用USB2.0接口与超声波发射/接
收模块连接，采集和处理已经数字化的超声波信号。
6) 使用并口或者USB接口与步进电机控制器连接，用于控制三轴运动。
7) 超声波发射/接收模块:
采用USB2.0接口，超声脉冲发射/接收与A/D一体化。
8) 具体性能指标如下：
0.5-20MHz带宽（-3dB带宽）
3个可选宽带带通滤波器，匹配不同频率的水浸聚焦探头：
频带1： 0.2 ～ 1 MHz ，
频带2： 0.5 ～ 4 MHz ，
频带3： 2 ～ 20 MHz
9) 0-110 dB增益
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